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中文摘要: 磁控溅射技术是制备钛基薄膜常用的方法。 本文综述了磁控溅射法的基本原理、 特点及方法种类， 并总
结了磁控溅射法制备 TiO2、 TiN、 TiC 薄膜和 Ti 复合薄膜的最新研究进展， 最后展望了磁控溅射技术制备 Ti 基薄
膜的发展方向。
Abstract:Magnetron sputtering technology is a common method for preparing Ti-based thin films. The basic
principles, characteristics and types of magnetron sputtering technology are reviewed in this paper. The latest
research progress in the preparation of TiO2, TiN, TiC thin films and Ti composite thin films by magnetron
sputtering is summarized. Finally, the development direction of Ti-based thin films prepared by magnetron
sputtering technology is prospected.
文章编号： 中图分类号：TG174.4 文献标志码：
基金项目:
| 作者 | 单位 |
| 迟迅 | 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司 |
| 宋长虹 | 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司 |
| 鲍君峰 | 北京科技大学新材料技术研究院，矿冶科技集团有限公司 |
| 高陟 | 东北大学冶金学院 |
| 任鑫明 | 东北大学冶金学院 |
| 马北越 | 东北大学冶金学院 |
引用文本：
迟迅,宋长虹,鲍君峰,高陟,任鑫明,马北越.磁控溅射制备钛基薄膜研究进展[J].热喷涂技术,2020,12(2):17-21.
Xun Chi,Changhong Song,Junfeng Bao,Zhi Gao,Xinming Ren,Beiyue Ma.Research Progress of Titanium-based Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering[J].Thermal Spray Technology,202012(2):17-21.
迟迅,宋长虹,鲍君峰,高陟,任鑫明,马北越.磁控溅射制备钛基薄膜研究进展[J].热喷涂技术,2020,12(2):17-21.
Xun Chi,Changhong Song,Junfeng Bao,Zhi Gao,Xinming Ren,Beiyue Ma.Research Progress of Titanium-based Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering[J].Thermal Spray Technology,202012(2):17-21.